∵ 工作及测量原理 简要说明：
特定的背光源模（mó）组（zǔ）点亮后，光线经过均光板等处理，透过处于被（bèi）测光学系（xì）统焦点附近的分划板之十字靶（bǎ）标窄缝，模拟逆光路(逆投（tóu）解)成像（xiàng）原理，由多（duō）组高帧率工业相机接收各视场点位的十字（zì）靶标影像，依据不同线（xiàn）缝宽度及指定的空间频率，由软体分析光学系统的成像品质。高精度Z轴（zhóu）系统带动（dòng）分（fèn）划板相对被测物模拟调焦动作，完成 Though Focus 的全域扫描，结合光学畸变、衍射原理、干（gàn）涉原理等，分析各靶标(9或13路（lù）) S和T方向的MTF，除此之外，可以同（tóng）时量测像平面（miàn）倾斜值（zhí），后焦值，特（tè）定操作可量测被测物之安装平行（háng）度。